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花崗岩龍門型橋式大孔徑中空線馬平台是由花崗岩為基座製作成的龍門橋式線馬平台,其花崗岩平台上架構了大孔徑中空平台及線馬平台之設計,中空平台內可打背光,應用於掃描檢測基板,晶圓或作AOI檢測設備。
此龍門型橋式花崗岩線馬平台之優點為:此為較大型行程的機台,在設計機台時可依客戶需求同時又維持加工檢測品質,,其基座為花崗石,重量重、振動小、穩定性佳;花崗岩組裝面都經平面研磨加工而成,而機架為鋼材焊接且經回熱處理,變形量小,線性馬達的重現精度高。而線性馬達作動速度快,高剛性鋁結構,可快速到達定位,所以能有效提高產能。
花崗岩龍門式不銹鋼外罩機台應用場合如 : 應用於掃描檢測基板,晶圓或作AOI檢測設備或客戶有指定及特殊使用的之應用。
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