此龍門式花崗岩線馬平台是由花崗岩為基座製作成的龍門式線馬平台,其下軸採雙軸式線性馬達平台、Y軸為單軸線性馬達平台,再加上Z軸伺服螺桿平台組合而成。此機台以防塵平台設計,三軸上蓋伸縮護套。
此龍門型橋式花崗岩XYZ線馬平台之優點為:基座為花崗石,其重量重、振動小、穩定性佳;花崗岩組裝面都經平面研磨加工而成,而機架為鋼材焊接且經回熱處理,變形量小,線性馬達的重現精度高。而線性馬達作動速度快,高剛性鋁結構,可快速到達定位,所以能有效提高產能。
花崗岩龍門式XYZ機台應用場合如 : 半導體設備、PCB設備、AOI檢測設備、切割設備、雷射切割、晶圓切割或其他輕切割設備.....等等應用。
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